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乐鱼电竞_EUV产量到位了,是不是也该考虑良率了?

文章来源:乐鱼电竞  作者:乐鱼电竞  发布日期:2021-08-08  浏览次数:795  【打印】  【关闭】   【返回
EUV产量到位了,是否是也该斟酌良率了?在当前的半导体系体例程不竭往7nm以下成长时,EUV光刻机就成了IDM和代工场必不成少的东西之一。跟着台积电、三星英特尔和SK海力士等企业的EUV光刻机纷纭到位,这些顶级半导体系体例造厂商和EUV光刻机的独一制造者ASML还另外一个问题需要担忧,那就是光罩防尘膜。90%透射率这道坎光刻机防尘膜 / 三井化学光罩防尘膜是一种透明的薄膜,首要用在庇护昂贵的光罩,连结洁净,以此提高半导体出产效力。虽然光刻机一般都位在相当严酷的干净室内,EUV光刻机面世早期也有很多人认为EUV不需要防尘膜,由于不会呈现颗粒的存在,但现实环境下仍是不免避免出产进程中杂质的呈现。据ASML的说法,EUV每暴光1万次就会生成一个杂质颗粒。经由过程利用防尘膜,晶圆厂可以有用避免污染而发生的缺点。固然这是一个有用解决晶圆缺点的法子,却影响了光刻机的光线透射。被防尘膜接收的紫外光线固然肉眼看不出,但在光刻机的表示上就成了功耗费掉。当前DUV防尘膜的透射率都已做到了99%以上,EUV防尘膜却始终差能人意。是以,ASML和相干代工场商都在研究若何出产出透射率更高的防尘膜。但是,ASML由于需要专心去做EUV光刻机的出产开辟,很难再统筹防尘膜的出产,并且在他们的研究下,透射率一向进展迟缓。2016年,ASML推出的首批EUV防尘膜只有78%摆布的透射率。2019年时,颠末了一段时候的延续研发,平均透射率也仅仅晋升了3.5%,到达83%的程度。三星更是明白暗示,不到90%以上的透射率不会利用EUV防尘膜。究竟在当前半导体缺货的环境下,透射率降落影响的是产量,而没用防尘膜最多只能影响小部门良率。是以,当前不管是三星和台积电都没有在EUV光刻机上利用防尘膜。除透射率以外,EUV的防尘膜还两道坎,那就是散热和本钱问题,不外这两个问题其实也和透射率一样,都可能要从材料上解决。离正式利用还多久?EUV防尘膜 / 三井化学为此,2019年5月31日,ASML与日本三井化学公司告竣和谈,前者将EUV防尘膜手艺授权给三井化学,由多年防尘膜出产经验的后者来负责出产。ASML联手加拿年夜企业Teledyne负责EUV防尘膜手艺的开辟,而三井则在日本年夜竹市进行防尘膜出产。本年5月,ASML韩国发卖司理提到,颠末与Teledyne的联袂开辟,他们已可以将EUV防尘膜做到90.6%的透射率,可以实现400W的持久功率。三井化学也在同月26日发布动静,正式公布EUV防尘膜最先商用量产。出产EUV防尘膜的其实不只有三井化学一家,韩国企业FST和S&S Tech一样在出产相干产物,三星作为这两家厂商的年夜客户,也向他们投资了很多资金。就拿FST来讲,操纵碳纳米管材料,他们同样成功将透射率做到了90%以上,还推出了主动安装和检测防尘膜的装备东西。究竟在应用EUV防尘膜的出产进程中,防尘膜上的颗粒检测和防尘膜清洗与替代也是相当耗时耗力的步调。不外,别说是包管半导体出产的良率了,这两家的EUV防尘膜尚在研发或早期阶段,本身的良率还没包管,固然EUV防尘膜已变成他们的研发重心,但与ASML和三井化学比拟,还一段差距。但是,韩媒报导,三星这家韩国巨子极可能仍是会用ASML自家的光罩防尘膜。由于EUV光刻机只有ASML一家制造,假如不消他们本身保举的防尘膜,极可能难以包管后续的售后保护工作,十几亿元一台的机械,坏了没处修可就难办了。碳纳米管EUV防尘膜 / IMEC比利时微电子研究中间(IMEC)其实也在研究EUV防尘膜,他们将多片碳纳米管防尘膜安装在NXE:3300 EUV光刻机上,测得单次极紫外光的透射率可高达97%,所能承受的功率更是可以到达600W。结语固然已有EUV防尘膜最先投入量产,但业内助士爆料,三星极可能会在2023年才最先在EUV光刻机上利用防尘膜。究竟即使是90.8%的透射率,仍然对产量会有必然影响,与DUV光刻机99%以上的透射率比拟,仍是有差距。今朝根基所有晶圆厂都在满载运行,在产量和良率的决定上,影响更小的后者较着不是首选。
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